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日本HORIBA崛場(chǎng)多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器搭載多量程/多氣體功能、用戶可自行更改氣體種類和流量范圍的數(shù)字質(zhì)量流量控制器暢銷型號(hào)。實(shí)現(xiàn)了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以內(nèi)的快速響應(yīng)、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數(shù)字/模擬、DeviceNet™、EtherCAT®通信中選擇。這款質(zhì)量流量控制器也適用于各種制造流程。
產(chǎn)品型號(hào)：SEC-Z500X系列廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-10-11訪 問(wèn) 量：10
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日本HORIBA崛場(chǎng)多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器
日本HORIBA崛場(chǎng)多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
搭載多量程/多氣體功能、用戶可自行更改氣體種類和流量范圍的數(shù)字質(zhì)量流量控制器暢銷型號(hào)。
實(shí)現(xiàn)了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以內(nèi)的快速響應(yīng)、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數(shù)字/模擬、DeviceNet™、EtherCAT®通信中選擇。這款質(zhì)量流量控制器也適用于各種制造流程。
多量程/多氣體適用
可在用戶端更改氣體種類和滿量程流量。有助于減少備件等成本。
寬范圍
可實(shí)現(xiàn)從微小流量（5SCCM F.S.）到大流量（500SLM F.S.）的精確控制
高精度
±1.0% 設(shè)定值（S.P.）保證
高速?gòu)甏?/strong>
全范圍1秒以內(nèi)(T98)
緊湊尺寸
面間距離106mm（適用于50SLM以下、1/4VCR型），兼容1.125英寸氣體面板。
超清潔對(duì)應(yīng)
采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)的煤氣接口部件，內(nèi)表面研磨處理為標(biāo)準(zhǔn)配置。
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
搭載多量程/多氣體功能、用戶可自行更改氣體種類和流量范圍的數(shù)字質(zhì)量流量控制器暢銷型號(hào)。
實(shí)現(xiàn)了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以內(nèi)的快速響應(yīng)、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數(shù)字/模擬、DeviceNet™、EtherCAT®通信中選擇。這款質(zhì)量流量控制器也適用于各種制造流程。
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