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日本ARIOS超小型旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)耐高溫壓力驅(qū)動 RFT系列 這是將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動從大氣側(cè)傳遞至真空的部件。這稱為旋轉(zhuǎn)引入機(jī)。 旋轉(zhuǎn)引入機(jī)主要有三種類型：用 O 形圈密封軸的類型、使用波紋管的類型以及使用磁力耦合器的類型。

日本IKC波紋管式緊湊型直線送料機(jī)導(dǎo)入機(jī) ILC-34-10/34-15/34-20系列 直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

日本IKC驅(qū)動裝置波紋管式直導(dǎo)入機(jī)自動型 ILD-70A / ILD-114A系列 直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

日本IKC手動型波紋管式直導(dǎo)入機(jī)超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

日本進(jìn)口tecsam超高真空推拉式直線導(dǎo)入機(jī) PLM25-133/PLM25-275 這是一款可在超高真空下使用的推拉式直線導(dǎo)入機(jī)。 推拉旋鈕可前后移動軸。 真空側(cè)是使用超高真空潤滑劑（Krytox）的薄膜軸承，大氣側(cè)是使用高溫Krytox的軸承。

日本tecsam超高真空旋轉(zhuǎn)直線導(dǎo)入機(jī)薄膜軸承 RLM25-133/RLM25-275 這是一款可在超高真空條件下使用的旋轉(zhuǎn)直線導(dǎo)入機(jī)。 通過旋轉(zhuǎn)手柄的末端，您可以前后移動軸。 真空側(cè)是使用超高真空潤滑劑（Krytox）的薄膜軸承，大氣側(cè)是使用高溫Krytox的軸承。

日本techrom熱解吸設(shè)備收集管調(diào)節(jié)操作簡單 TCS-20 更簡單、更有效的收集管調(diào)節(jié) 使用熱解吸裝置時，調(diào)節(jié)收集管（吸附管）是最基本的操作。 TCS-20 是一款專用設(shè)備，可同時調(diào)節(jié)（烘烤）熱解吸設(shè)備中使用的多達(dá) 20 個收集管。

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